蒸着装置

メーカー	キヤノントッキ
型番	CME-70
年式	2013
カテゴリー	半導体中古装置（前工程）, 成膜装置, 蒸着装置
ウェハーサイズ	4inch
シリアル番号	01130468-2
仕様（日本語）	装置構成：バッチ式基板回転方式基板ドーム：MAXΦ600 Φ4 ウエハー対応蒸発源：電子銃方式ルツボ4点or6点操作：全自動（排気・成膜）ドライポンプ　2台　型式：DMB-003CM　型式：VD60 クライオコンプレッサー　型式：C30VR ロータリポンプ真空セット　なし
管理番号	K021-0011

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