蒸着装置

メーカーキヤノントッキ
型番CME-70
年式2015
カテゴリー半導体中古装置（前工程）, 成膜装置, 蒸着装置
ウェハーサイズ4inch
シリアル番号602621
仕様（日本語）装置構成：バッチ式 基板回転方式
基板ドーム：MAXΦ600 Φ4 ウエハー対応
蒸発源：電子銃方式 ルツボ4点or6点
操作：全自動（排気・成膜）
ドライポンプ　型式：EV-S20N
クライオコンプレッサー　型式：C30VR
管理番号 K021-0002
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Products

銅めっき装置

メーカー
日立パワーソリューションズ
型　番
MA-Cu04,MA-Ni02

スパッタリング装置

メーカー
神港精機
型　番
SPZM6121

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