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蒸着装置
管理番号 | K021-0002 |
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メーカー | キヤノントッキ |
型番 | CME-70 |
年式 | 2015年式 |
カテゴリー | 蒸着装置 |
ウェハーサイズ | 4inch |
シリアル番号 | 602621 |
仕様(日本語) | ドライポンプ 型式:EV-S20N クライオコンプレッサー 型式:C30VR |
価格
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