蒸着装置
| 管理番号 | K021-0002 |
|---|---|
| メーカー | キヤノントッキ |
| 型番 | CME-70 |
| 年式 | 2015年式 |
| カテゴリー | 蒸着装置 |
| ウェハーサイズ | 4inch |
| シリアル番号 | 602621 |
| 仕様（日本語） | ドライポンプ 型式：EV-S20N クライオコンプレッサー 型式：C30VR |
価格
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