ターボ分子ポンプ
メーカー | セイコー精機 |
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型番 | STP H200C |
年式 | 1991 |
カテゴリー | 真空機器・付属品(半導体装置コンポーネント), 真空ポンプ, ターボ分子ポンプ |
シリアル番号 | 0548A |
管理番号 | K015-0003 |
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