ターボ分子ポンプセット

メーカー三菱重工業
型番FT-800W-A1N1
年式2006
カテゴリー真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント）, 真空ポンプ, ターボ分子ポンプ
シリアル番号E-10499
仕様（日本語）ターボ分子ポンプ 型式：FT-800W-A1N1
コントローラ 型式：FT1-800W-D1
管理番号 K014-0014
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