スパッタリング装置
| 管理番号 | K014-0005 |
|---|---|
| メーカー | MRC |
| 型番 | P603 |
| 年式 | 2006年式 |
| カテゴリー | PVD |
| ウェハーサイズ | 6inch |
| シリアル番号 | 45050 |
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株式会社 ASKSEMIX
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