スパッタリング装置
| メーカー | MRC |
|---|---|
| 型番 | P603 |
| 年式 | 1992 |
| カテゴリー | 半導体中古装置（前工程）, 成膜装置, スパッタリング装置 |
| ウェハーサイズ | 6inch |
| シリアル番号 | 45050 |
| 管理番号 | K014-0005 |
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