スパッタリング装置

メーカー	アルバック
型番	SV-6040-T14
年式	2008
カテゴリー	半導体中古装置（前工程）, 成膜装置, スパッタリング装置
ウェハーサイズ	6inch
シリアル番号	45050
仕様（日本語）	標準排気系：12”クライオポンプ到達圧力：6.7e-5Pa 成膜エリア：L300mm±10％
管理番号	K014-0004

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