ターボ分子ポンプ

メーカー島津製作所
型番TMP-V3304LM
年式2016
カテゴリー真空機器・付属品(半導体装置コンポーネント), 真空ポンプ, ターボ分子ポンプ
シリアル番号ABJA0939
仕様(日本語)本体のみ 蒸着装置EPD-1350TBNで使用
管理番号 K005-0002
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