蒸着装置

メーカー	シンクロン
型番	EPD-1350TBN
年式	2016
カテゴリー	半導体中古装置（前工程）, 成膜装置, 蒸着装置
シリアル番号	G150251
仕様（日本語）	電気：200V±10％３Φ 50Hz 真空到達圧力：5.0×10⁻⁵Pa以下排気特性：2.0×10⁻³Paまで 15分以内空気：0.5~0.7MPa ガス：Ar 0.05~0.2MPa　O₂ 0.05~0.3MPa 基板加熱温度範囲：60~350℃ 重量：7700KG
管理番号	K005-0001

売却済

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