蒸着装置
| 管理番号 | K005-0001 |
|---|---|
| メーカー | シンクロン |
| 型番 | EPD-1350TBN |
| 年式 | 2016年式 |
| カテゴリー | 蒸着装置 |
| シリアル番号 | G150251 |
| 仕様（日本語） | 電気：200V±10％ ３Φ 50Hz 真空到達圧力：5.0×10⁻⁵Pa以下 排気特性：2.0×10⁻³Paまで 15分以内 空気：0.5~0.7MPa ガス：Ar 0.05~0.2MPa O₂ 0.05~0.3MPa 基板加熱温度範囲：60~350℃ 重量：7700KG |
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