ターボ分子ポンプ
| メーカー | 大阪真空 |
|---|---|
| 型番 | TS440VW |
| 年式 | 2006 |
| カテゴリー | 真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント）, 真空ポンプ, ターボ分子ポンプ |
| シリアル番号 | 1719 |
| 仕様（日本語） | 吸気口フランジ:VG150 CF160 ISO-B160 排気速度： N₂ (L/s)440 N₂ (保護金網付) (L/s)410 H₂ (L/s)320 最大圧縮比：N₂ 2×10⁶ H₂ １×10³ 最大ガス流量 N2 10860sccm 起動時間 10～14min 停止時間 23～28min 到達圧力 < 1×10-5Pa < 7.5×10-8Torr 許容補助圧力 (Pa) 2000 (Torr） 15 質量 60KG |
| 管理番号 | K004-0045 |
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