ドライポンプ

メーカー	キヤノンアネルバ
型番	V060HBU
年式	2006
カテゴリー	真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント）, 真空ポンプ, ドライポンプ
シリアル番号	06L3259
仕様（日本語）	排気速度：900/1100L/min 3相　200/220V　50/60Hz サイズ：W300　D780　H600 重量：77kg
管理番号	K004-0044

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