ドライポンプ
| メーカー | 樫山工業 |
|---|---|
| 型番 | SDE90-1 |
| カテゴリー | 真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント）, 真空ポンプ, ドライポンプ |
| シリアル番号 | 06L530B |
| 仕様（日本語） | 排気速度：1300l/min 重量：150ｋｇ |
| 管理番号 | K004-0042 |
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