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| メーカー | セミツール |
|---|---|
| 型番 | 260S-1-2-E-ML |
| 年式 | 1995 |
| カテゴリー | 半導体中古装置（前工程）, 洗浄装置, スピンドライヤー |
| ウェハーサイズ | 4inch |
| シリアル番号 | B69463 |
| 仕様（日本語） | クレードル無し コントローラー 型式：PSC-102 S/N:B69463 |
| 管理番号 | K004-0011 |
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