超高真空ECR-CVD装置
| 管理番号 | K004-0010 |
|---|---|
| メーカー | キヤノンアネルバ |
| 型番 | ECR-CVD |
| 年式 | 2002年式 |
| カテゴリー | CVD |
| ウェハーサイズ | 2inch, 4inch |
| 仕様（日本語） | "基板交換にはロードロック機構を用いる。 トレー表面温度にてMAX400℃(安定度：300℃±3℃ ECRイオン源 ガス導入系：使用ガスN2,O2 成膜室：使用ガスSiH4" |
売却済
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