VHF-CVD装置
| 管理番号 | K004-0009 |
|---|---|
| メーカー | キヤノンアネルバ |
| 型番 | C-9001 |
| 年式 | 2007年式 |
| カテゴリー | CVD |
| ウェハーサイズ | 4inch |
| 仕様（日本語） | 2024/5/24 廃棄 ※部品どり実施 "基板ホルダー最高設定温度350℃ 基板内膜厚均一性SiO2±５％以内、SiN±10%以内 基板間膜厚均一性SiN±5%以内" |
売却済
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