ウエット処理装置

メーカー	高田工業所
型番	TWPS-02462-JM
年式	2006
カテゴリー	半導体中古装置（前工程）, 洗浄装置, ウエハー洗浄装置
ウェハーサイズ	4inch, 5inch, 6inch
仕様（日本語）	"材質：GaAs、InP、Si 使用薬液アセトン、エタノール液温：常温外形寸法：本体1,800W×２,200D×2,200Ｈ(総重量　約1,500Kg) 制御盤：本体内組込み材質：外装SUSミガキ内装SUSミガキ及びSUS"
管理番号	K004-0008

売却済

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