レジスト剥離装置
| 管理番号 | K004-0008 |
|---|---|
| メーカー | 高田工業所 |
| 型番 | TWPS-02462-JM |
| 年式 | 2006年式 |
| カテゴリー | Etch |
| ウェハーサイズ | 4inch |
| 仕様（日本語） | "材質：GaAs、InP、Si 使用薬液アセトン、エタノール 液温：常温 外形寸法：本体1,800W×２,200D×2,200Ｈ(総重量 約1,500Kg) 制御盤：本体内組込み 材質：外装SUSミガキ 内装SUSミガキ及びSUS" |
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