スピンリンサードライヤー

メーカー	コクサン
型番	SPD180-RN
年式	2020.12
カテゴリー	半導体中古装置（前工程）, 洗浄装置, スピンドライヤー
ウェハーサイズ	8inch
シリアル番号	2012262
仕様（日本語）	https://kokusan.co.jp/products/spd-180ご参照ください未使用品電源：AC200V 3φ 50/60Hz 8A 駆動エアー：0.3Mpa (3Kg/cm2) 最大処理量：8インチ×25枚キャリア 1キャリア ULPAフィルタ：有イオナイザ：有制御：PLC・インバータ操作部：タッチパネル運転レシピ登録数：5種類回転数：3,500rpm　 (5インチまで・6インチ以上は3,000rpm) モータ：インバータモータ寸法：652(W)×1135(D)×1080(H)mm 蓋開時の高さ1352(H)mm 重量：110Kg
管理番号	A4017

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