ウェット処理装置
| メーカー | ギガテック |
|---|---|
| 型番 | AW2940 |
| 年式 | 2021 |
| カテゴリー | 半導体中古装置（前工程）, 洗浄装置 |
| ウェハーサイズ | 8inch |
| シリアル番号 | 32N-3001 |
| 管理番号 | A4009 |
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