ロボットコントローラ
| メーカー | KAWASAKI |
|---|---|
| 型番 | 30C61C-B004 |
| カテゴリー | 半導体中古装置（前工程）, 成膜装置 |
| ウェハーサイズ | 12inch |
| シリアル番号 | 0979 |
| 状態 | 未使用品 |
| 管理番号 | A1005 |
AMAT RODUCER(300mm)用 ロボットコントローラ
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