セミオートプローバー
| メーカー | ベクターセミコン |
|---|---|
| 型番 | AX-2500 / B1505A |
| 年式 | 2011.12 |
| カテゴリー | 検査・分析装置, テスト工程, プローバー |
| シリアル番号 | SA1905063 |
| 仕様（日本語） | ウェハサイズ： 6インチまで マニピュレータ設置台数：最大6台(8台まで対応可能) チャックトップ： 特殊合金 温度コントローラー： THC-151 DC電源： PK160-7.5 1200W 単相AC100V 16Amax 真空ポンプ： VP-114/VP-118 安全カバー閉時： 1300W×1365D×2060H mm 安全カバー開時： 1300W×1765D×2060H mm 本体重量： 700kg システムラック重量： 100kg オプション： B1513B SMU 1個 B1510A SMU 3個 B1520A CVU 1個 B1500-66605 GNDU 1個 E5250A LLS Mainframe 1個 N1258A Module Selector 1個 82357B USB 1個 四探針 |
| 管理番号 | M001-0008 |
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