プローバー

メーカー	東京精密
型番	A-PM-60B
年式	1999
カテゴリー	検査・分析装置, テスト工程, プローバー
シリアル番号	F00602KP
仕様（日本語）	ウエハーチャック φ135(5吋/特殊/穴/カニゼン) アライメント装置　ITV(A-4) 顕微鏡 SZ4045-2(接眼x30 対物 0.62) AC 100V 50/60Hz
管理番号	K033-0003

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