スクロール型ドライ真空ポンプ

メーカー	アルバック
型番	ISP-500C
年式	2019
カテゴリー	真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント）, 真空ポンプ, ドライポンプ
シリアル番号	XD801
仕様（日本語）	使用時間：6061 10分間 7pa 20分間 5.4pa 45分間 3.8pa
状態	動作確認済み
管理番号	M001-0005-2

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