ドライ真空ポンプ

メーカー樫山工業
型番NeoDry36EU-009C
年式2015.8
カテゴリー真空機器・付属品(半導体装置コンポーネント), 真空ポンプ, ドライポンプ
シリアル番号158DN04277
仕様(日本語)相数・線式:三相3線式
周波数:50/60 Hz
定格電圧:200~240 V
定格電流:4.4 A
最大負荷時定格電流:4.4 A
排気速度:600 L/min
回転数:58 s⁻¹
オイル容量:0.24 L
質量:54 kg
管理番号 K066-0002-1
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