ドライ真空ポンプ
| メーカー | 樫山工業 |
|---|---|
| 型番 | NeoDry60EU-047C |
| 年式 | 2018.1 |
| カテゴリー | 真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント）, 真空ポンプ, ドライポンプ |
| シリアル番号 | 181DN82012 |
| 仕様（日本語） | 相数・線式：三相3線式＋アース線 周波数：50/60 Hz 定格電圧：200～240 V 定格電流：7.1 A 最大負荷時定格電流：7.1 A 排気速度：1000 L/min 回転数：100 s⁻¹ オイル容量：0.24 L 質量：56 kg |
| 管理番号 | K066-0002-1 |
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