ドライポンプセット

メーカー	エドワーズ
型番	IQDP80/QMB250
カテゴリー	真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント）, 真空ポンプ, ドライポンプ
シリアル番号	02020008
仕様（日本語）	電源：3相　200V　50Hz セット重量：413kg
管理番号	M001-0002-1

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