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| メーカー | エヌエス |
|---|---|
| 型番 | M-18 TURBO 1001P |
| 年式 | 2004.2 |
| カテゴリー | 半導体中古装置（前工程）, エッチング装置 |
| シリアル番号 | M-8014 |
| 仕様（日本語） | ポンプ 1台付属 型式：DUO 65 |
| 管理番号 | K076-0001 |
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