ECR プラズマ成膜装置
| 管理番号 | K045-0002 |
|---|---|
| メーカー | JSWアフティ |
| 型番 | EC-9600L |
| 年式 | 2015年式 |
| カテゴリー | PVD |
| ウェハーサイズ | 4inch |
| シリアル番号 | 159621 |
| 仕様（日本語） | ドライポンプ 3台 型式：NeoDry36EV-009C 型式：ＮeoDry 15E 型式：ＮeoDry 15E |
商談中
在庫確認・ご質問などお気軽に問い合わせください