ターボ分子ポンプセット
| メーカー | 大阪真空 |
|---|---|
| 型番 | TG350FVAB |
| 年式 | 2021.09 |
| カテゴリー | 真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント）, 真空ポンプ, ターボ分子ポンプ |
| シリアル番号 | 4983 |
| 仕様（日本語） | 排気速度（H₂） 210 L/s 最大圧縮比 N₂: 1×10⁸ / H₂: 2×10³ 到達圧力 < 1×10⁻⁶ Pa（< 7.5×10⁻⁹ Torr） 最大スループット 500 sccm（バックポンプ160 L/min時） 起動時間 約2–2.5分 停止時間 約5–6.5分 最大バック圧 260 Pa（2 Torr） 推奨バックポンプ（流量） ≥ 80 L/min 重量：６㎏ TMPコントローラー付き 型式：TC353 S/N：AK210716-005 入力電圧：100–110Vまたは200–230V（±10％） 周波数：50/60Hz 単相対応 消費電力：610 VA 出力周波数：750 Hz 質量：2.7 kg |
| 管理番号 | K045-0004 |
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