ドライ真空ポンプ
| メーカー | 荏原製作所 |
|---|---|
| 型番 | VOS100 |
| 年式 | 2007 |
| カテゴリー | 真空機器・付属品(半導体装置コンポーネント), 真空ポンプ, ドライポンプ |
| 仕様(日本語) | 到達圧力:1.2Pa 定格電流:9.5A 最大排気速度:1800L/min 電源:200-220V/200V 60/50Hz 重量:60㎏ |
| 管理番号 | K058-0150 |
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