ドライ真空ポンプ

メーカー荏原製作所
型番VOS100
年式2007
カテゴリー真空機器・付属品(半導体装置コンポーネント), 真空ポンプ, ドライポンプ
仕様(日本語)到達圧力:1.2Pa
定格電流:9.5A
最大排気速度:1800L/min
電源:200-220V/200V 60/50Hz
重量:60㎏
管理番号 K058-0150
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