プラズマクリーナー
| メーカー | 昭和真空 |
|---|---|
| 型番 | SPE-2125A |
| 年式 | 2015 |
| カテゴリー | 半導体中古装置（前工程）, エッチング装置, アッシング装置 |
| ウェハーサイズ | 4inch |
| シリアル番号 | 15-4031 |
| 管理番号 | K082-0007 |
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