プラズマクリーナー
| メーカー | 昭和真空 |
|---|---|
| 型番 | SPE-2125A |
| 年式 | 2015 |
| カテゴリー | 半導体中古装置（前工程）, エッチング装置, アッシング装置 |
| ウェハーサイズ | 4inch |
| シリアル番号 | 15-4008 |
| 仕様（日本語） | デスカム・表面改質・アッシング処理 各種ウエハ電子部品のレジスト除去、後工程メッキ前の表面改質、有機汚染除去、樹脂材料の表面改質、SAWデバイスなどの極薄圧電ウエハ対応 |
| 管理番号 | K082-0006 |
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