スピンドライヤー
| メーカー | 大宮工業 |
|---|---|
| 型番 | OKV Ⅱ-E41 |
| 年式 | 2015 |
| カテゴリー | 半導体中古装置（前工程）, 洗浄装置, スピンドライヤー |
| ウェハーサイズ | 4inch |
| シリアル番号 | MB-SD1509386 |
| 仕様（日本語） | W423×D839×H780 (mm) Max回転数：3,000min-¹ 1速～8速 （0～999sec. 8段階設定可） 三相 AC200V±10％ 50/60Hz |
| 管理番号 | K082-0002 |
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