ロータリーポンプ
| メーカー | アルバック |
|---|---|
| 型番 | GLD-136D |
| カテゴリー | 真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント）, 真空ポンプ, ロータリーポンプ |
| シリアル番号 | 1418125 |
| 管理番号 | K076-0003 |
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