ドライ真空ポンプ
| メーカー | 荏原製作所 |
|---|---|
| 型番 | PDV250 |
| 年式 | 2018 |
| カテゴリー | 真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント）, 真空ポンプ, ドライポンプ |
| シリアル番号 | DPA00667 |
| 仕様（日本語） | 排気速度：約 230 L/min 到達圧力：約 0.5 Pa（≒3.75 mTorr） 吸気口／排気口サイズ：NW25（小型フランジ） 電源：単相 100〜240 V AC, 50/60 Hz 冷却方式：空冷（冷却水不要） 重量：約 15 kg |
| 管理番号 | K073-0007 |
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