ドライ真空ポンプ

メーカー荏原製作所
型番PDV250
年式2018
カテゴリー真空機器・付属品(半導体装置コンポーネント), 真空ポンプ, ドライポンプ
シリアル番号DPA00667
仕様(日本語)排気速度:約 230 L/min
到達圧力:約 0.5 Pa(≒3.75 mTorr)
吸気口/排気口サイズ:NW25(小型フランジ)
電源:単相 100〜240 V AC, 50/60 Hz
冷却方式:空冷(冷却水不要)
重量:約 15 kg
管理番号 K073-0007
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