ドライ真空ポンプ
| メーカー | 荏原製作所 |
|---|---|
| 型番 | PDV500 |
| 年式 | 2018 |
| カテゴリー | 真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント）, 真空ポンプ, ドライポンプ |
| シリアル番号 | DPB01137 |
| 仕様（日本語） | 排気速度：約 500 L/min 到達圧力：約 0.5 Pa 吸気口：KF40 冷却：空冷 電源：1Ph 100–230V 60/50Hz 定格電流：6.6A 重量：20kg |
| 管理番号 | K073-0006 |
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