スクロール型ドライ真空ポンプ
| メーカー | アルバック |
|---|---|
| 型番 | DIS-500 |
| 年式 | 2006 |
| カテゴリー | 真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント）, 真空ポンプ, ドライポンプ |
| シリアル番号 | FL405 |
| 仕様（日本語） | 排気速度 約 500 L/minクラス 到達圧力 約 1 Pa 電動機 約600W |
| 管理番号 | K073-0005 |
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