スクロール型ドライ真空ポンプ
| メーカー | アルバック |
|---|---|
| 型番 | DIS-501 |
| 年式 | 2010 |
| カテゴリー | 真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント）, 真空ポンプ, ドライポンプ |
| シリアル番号 | KD414 |
| 仕様（日本語） | 排気速度 500 L/min（50Hz） 600 L/min（60Hz） 到達圧力 約 1 Pa 電動機 約600W 吸気口 KF-40 |
| 管理番号 | K073-0004 |
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