ターボ分子ポンプ
| メーカー | アルバック |
|---|---|
| 型番 | UTM-150 |
| カテゴリー | 真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント）, 真空ポンプ, ターボ分子ポンプ |
| シリアル番号 | 015P1056 |
| 仕様（日本語） | 排気速度（クラス感） 約 150 L/s（N₂）クラス UTMシリーズ全体： 10⁻⁷〜10⁻⁸ Pa |
| 管理番号 | K073-0003 |
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