ターボ分子ポンプ
| メーカー | エドワーズ |
|---|---|
| 型番 | STP-451 |
| 年式 | 2007.9 |
| カテゴリー | 真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント）, 真空ポンプ, ターボ分子ポンプ |
| シリアル番号 | M923420 |
| 仕様（日本語） | 排気速度 N₂：440 L/s H₂：275 L/s 圧縮比 N₂：>10⁸ H₂：>2×10⁴ 到達圧力 ISOフランジ：6.5×10⁻⁶ Pa CFフランジ：10⁻⁸ Pa 定格回転数（Rated Speed） 48,000 rpm 最大背圧 約13 Pa 重量 12kg |
| 管理番号 | K073-0002 |
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