ターボ分子ポンプ
| メーカー | エドワーズ |
|---|---|
| 型番 | STP-1003 |
| 年式 | 2009.6 |
| カテゴリー | 真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント）, 真空ポンプ, ターボ分子ポンプ |
| シリアル番号 | M1B8490 |
| 仕様（日本語） | 定格回転数： 35000rpm 圧縮比： N₂ >10⁸ H₂ 10⁵ 排気速度： N₂ 1000 L/s H₂：800 L/s 到達圧力： ～10⁻⁷ Pa（ICF）レベル 許容バック圧力： 13Pa 重量： 31kg |
| 管理番号 | K073-0001 |
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