エッチング装置

メーカーサムコ
型番RIE-200NL
年式2022.7
カテゴリー半導体中古装置(前工程), エッチング装置
シリアル番号43A4265
仕様(日本語)ドライポンプ:SDE90XU-065
ドライポンプ:SDE120TXU-232
チラー:HRS018-W-20-BM
管理番号 K071-0001
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