ドライエッチング装置

メーカーアルバック
型番NE-550EX
カテゴリー半導体中古装置（前工程）, エッチング装置, ドライエッチング装置
ウェハーサイズ4inch
シリアル番号MA17-5012-0
仕様（日本語）3Φ　26.5kVA , AC200V , 60Hz
0.6MPa~0.9MPa
850kg
管理番号 K068-0002
価格はお問い合わせください

付属品
ドライポンプ2台　　chiller 1台 HRZ004-L-X002SMC STEP 2個

Products

ドライエッチング装置

メーカー
アルバック
型　番
NE-550EX

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