応力及びウェハ反り測定噐
| メーカー | FSM |
|---|---|
| 型番 | FSM128 |
| 年式 | 2001 |
| カテゴリー | 理化学機器, 測定装置 |
| シリアル番号 | 010622-328 |
| 仕様（日本語） | 電源：AC 110 V／220 V、20 A FSM128（NT）：直径 75 mm～200 mm（3～8インチ） 自動切替式デュアルレーザー：650 nm/780 nm 薄膜応力測定範囲：1 MPa ～ 4 GPa（※基板の反り変化：1 µm以上） 測定再現性：1 %（1σ） 測定精度：≤ 2 %（20 m曲率半径リファレンスミラー使用時） 200 mmウエハーで約8秒、約8,000点を取得可能FSM128：幅 14″、奥行22″、高さ15″／50 lbs • FSM128シリーズは、チップ密度、表面形状及びウェハ反りが違う3種類のパターンウェハを全て簡単に測定することができた。 • 測定したデータは下記内容を含む: 膜応力,曲率半径とウェハ反り • 膜応力、ウェハ反りを非接触で測定。 • 低応力、高応力のどちらの膜でも精度良く測定。 • 40 データポイント/mmでの走査。 • 絶縁膜であっても金属膜であっても再校正の必要なく使用可能。 • 湿度変化等の外部環境変化の影響を受けない。 • 工場現場において最も広く採用されている膜応力とウェハ反り測定技術である。 • ほとんどのパターンウェハで、膜応力とウェハ反り測定が可能。 |
| 管理番号 | K058-0002 |
価格はお問い合わせください
在庫確認・ご質問などお気軽に問い合わせください
掲載していない機器もお探します！