クライオコンプレッサー
| メーカー | アルバック |
|---|---|
| 型番 | C10 |
| カテゴリー | 真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント）, コンプレッサー |
| シリアル番号 | CW5026B |
| 仕様（日本語） | 電源（ACV×φ×Hz） 200×3×50 220×3×60 電力kW（50/60Hz） 1.5/1.7 冷却方式 水量 水冷 1～5L/min(5~32℃) 質量（Kg） 75 接続可能な冷凍機Motor 2相 |
| 管理番号 | K054-0002 |
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