クライオポンプ
| メーカー | アルバック |
|---|---|
| 型番 | CRYO-U8H |
| カテゴリー | 真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント）, 真空ポンプ, クライオポンプ |
| シリアル番号 | 1802888J |
| 仕様（日本語） | 排気速度(20℃) 窒素：1,700L/s 水素:2,700L/s アルゴン：1,400L/s 水:4,000L/s 到達圧力 10-7(10-9) Pa(Torr) 最大流量 アルゴン 1.2×103(8.9) Pa・L/s(Torr・L/s) 排気容量 アルゴン 1.0×108(7.6×105)Pa・L(Torr・L) 水素 1.0×106(7.6×103) 冷却降下時間 (電力サイクル) 100/90(50/60)min(Hz) 吸気口フランジ UVG-200,6BANSI,UFC-253 コンプレッサユニット C10, C10AT, C10ES 質量 25Kg |
| 管理番号 | K051-0003 |
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