ターボ分子ポンプセット

メーカー	エドワーズ
型番	STP-300
年式	2005.10
カテゴリー	真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント）, 真空ポンプ, ターボ分子ポンプ
シリアル番号	M452290
仕様（日本語）	排気速度 N₂：300 L/s, He：約280 L/s, H₂：約300 L/s 到達圧力（CF仕様） <1×10⁻⁸ Pa 軸受方式 3軸磁気浮上式駆動時消費電力約 350 W 定格回転速度約 48,000 rpm 振動レベル <0.01 μm 重量：12kg コントローラー付き
管理番号	K049-0005

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