ドライ真空ポンプ
| メーカー | 樫山工業 |
|---|---|
| 型番 | NeoDry15EU-018C |
| 年式 | 2015.8 |
| カテゴリー | 真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント）, 真空ポンプ, ドライポンプ |
| シリアル番号 | 158DN05009 |
| 仕様（日本語） | 最大排気速度 約 250 L/min 電源 単相 AC200–240V 50/60Hz 質量 約 23 kg |
| 管理番号 | K045-0002-3 |
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