ターボ分子ポンプセット
| メーカー | 大阪真空 |
|---|---|
| 型番 | TG1300MVWB |
| 年式 | 2015.7 |
| カテゴリー | 真空機器・付属品(半導体装置コンポーネント), 真空ポンプ, ターボ分子ポンプ |
| シリアル番号 | 2899 |
| 仕様(日本語) | コントローラー付き 型式:TC011M S/N:V4AC15C06 |
| 管理番号 | K045-0002-1 |
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