ターボ分子ポンプセット

メーカー大阪真空
型番TG1300MVWB
年式2015.7
カテゴリー真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント）, 真空ポンプ, ターボ分子ポンプ
シリアル番号2899
仕様（日本語）コントローラー付き　型式：TC011M　
　　　　　　　　　 S/N:V4AC15C06
管理番号 K045-0002-1
売却済

コントローラー

型番：TC011M→TC010MA 変更

TC011M：ローカルリモート　反応なし

TC010MA：K059-0009から部品取り

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