ターボ分子ポンプセット

メーカー	大阪真空
型番	TG1300MVWB
年式	2015.7
カテゴリー	真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント）, 真空ポンプ, ターボ分子ポンプ
シリアル番号	2899
仕様（日本語）	コントローラー付き　型式：TC011M　　　　　　　　　　 S/N:V4AC15C06
管理番号	K045-0002-1

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