ターボ分子ポンプ
| メーカー | 島津製作所 |
|---|---|
| 型番 | PT-300/PTI-300 |
| 年式 | 2010 |
| カテゴリー | 真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント）, 真空ポンプ, ターボ分子ポンプ |
| ウェハーサイズ | other |
| シリアル番号 | PTC005 |
| 状態 | ASIS |
| 管理番号 | K043-0001-1 |
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