ドライポンプ
| メーカー | 荏原製作所 |
|---|---|
| 型番 | EST10N |
| カテゴリー | 真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント）, 真空ポンプ, ドライポンプ |
| シリアル番号 | DGA00063 |
| 管理番号 | K033-0005-7 |
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