プラズマリアクター
| 管理番号 | K033-0002 |
|---|---|
| メーカー | ヤマト科学 |
| 型番 | PR510 |
| 年式 | 2015年式 |
| カテゴリー | アッシング |
| シリアル番号 | 56900492 |
| 仕様（日本語） | 電源容量：三相AC200V 8A ブレーカ容量および電源設備容量 15A 方式：DP方式バレル型 制御部 高周波出力：Max.500W 制御部 発振周波数：13.56MHz 制御部 同調方式：オートチューニング 反応部 反応槽：石英製 φ215×305mm 反応部 反応ガス系：2系統（O2/CF4） 反応部 制御系：タッチパネルからの自動シーケンス 反応部 配管系材質：SUS、テフロン 内寸法：φ215×305mm 外寸法：520×630×760mm 重さ：70kg ドライポンプ 型式：PK250 |
価格
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