プラズマリアクター

メーカー	ヤマト科学
型番	PR510
カテゴリー	半導体中古装置（前工程）, エッチング装置, アッシング装置
シリアル番号	60000648
仕様（日本語）	電源容量：三相AC200V 8A 　　ブレーカ容量および電源設備容量　15A 方式：DP方式バレル型制御部高周波出力：Max.500W 制御部発振周波数：13.56MHz 制御部同調方式：オートチューニング反応部反応槽：石英製　φ215×305mm 反応部反応ガス系：2系統（O2/CF4）反応部制御系：タッチパネルからの自動シーケンス反応部配管系材質：SUS、テフロン内寸法：φ215×305mm 外寸法：520×630×760mm 重さ：70kg ドライポンプ　型式：PK250
管理番号	K033-0001

商談中

同じカテゴリの中古機器

Products

在庫確認・ご質問などお気軽に問い合わせください
掲載していない機器もお探します！